臭氧氧化法脫硝主要是利用臭氧的強氧化性，將不可溶的低價態(tài)氮氧化物氧化為可溶的高價態(tài)氮氧化物，然后在洗滌塔內(nèi)將氮氧化物吸收，達(dá)到脫除的目的。該脫硝系統(tǒng)在不同的 NOx 等污染物濃度和比例下，可以同時高效率脫除煙氣中的 NOx、二氧化硫和顆粒物等污染物，同時還不影響其他污染物控制技術(shù)，是傳統(tǒng)脫硝技術(shù)的一個高效補充或替代技術(shù)。
按照 O3 對于 NOx 復(fù)雜的氧化反應(yīng)過程，實際上最后通過 N 的價態(tài)變化體現(xiàn)出來，
主要的反應(yīng)如下：
2NO + 3O3 = N2O5 + 3O2
2N02 + O3 = N2 O5 + O2
NO + O3 = N O2+ O2
與氣相中的其他化學(xué)物質(zhì)如 CO，SOx 等相比，NOx 可以很快地被臭氧氧化，這就使得 NOx 的臭氧氧化具有很高的選擇性。因為氣相中的 NOx 被轉(zhuǎn)化成溶于水溶液的離子化合物，這就使得氧化反應(yīng)更加完全，從而不可逆地脫除了 NOx，而不產(chǎn)生二次污染。
經(jīng)過氧化反應(yīng)，加入的臭氧被反應(yīng)所消耗，過量的臭氧可以在噴淋塔中分解。除了 NOx之外，一些重金屬，如汞及其他重金屬污染物也同時被臭氧所氧化。煙氣中高濃度的粉塵或固體顆粒物不會影響到 NOx 的脫除效率。
臭氧氧化脫硝可應(yīng)用于：以煤、焦炭、褐煤為燃料的公用工程鍋爐；以燃?xì)?、煤、重油為燃料的工業(yè)鍋爐；鉛、鐵礦、鋅/銅，玻璃、水泥加工、生產(chǎn)的各種爐窯；用于處理生物廢料，輪胎及其他工業(yè)廢料的燃燒爐；來自于酸洗和化工過程的酸性氣流；催化裂化尾氣；各種市政及工業(yè)垃圾焚化爐等